НАЦИОНАЛЬНОЕ ДОСТОЯНИЕ
ОАО «НИИМЭ и Микрон»
Микроэлектроника… Уже более полувека она является доминантой научно-технического прогресса человечества, питательным эликсиром, мерилом технологического уровня, а значит, основой для успешного развития практически всех отраслей мировой экономики. Трудно назвать сферу цивилизованной деятельности человека, способную обходиться без микроэлектронного чипа.
Лишись его, и мир вполне мог бы оказаться в состоянии глобального катаклизма. Ниже мы обращаемся к истории развития научной и инженерной мысли на этом направлении, ее промышленной реализации в СССР, а после его распада — в России. Издатель считает, что лучшей иллюстрацией для этого может послужить история отдельно взятой российской компании, ОАО «НИИМЭ и завод Микрон», широко известной в стране и за рубежом. Почему именно эта компания? Ответ очевиден: в начале 1960-х годов, на заре эпохи микроэлектроники, Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (НИИМЭ) и завод «Микрон» находились у истоков отечественной микроэлектроники, а все последующие десятилетия они, как единое предприятие, занимают лидирующие позиции в России (СССР) в разработках и в производстве изделий микроэлектронной техники.
В начале пути
Июнь 1959 года. Пленум ЦК КПСС рассматривает вопросы внедрения комплексной механизации и автоматизации производства, в том числе создания вычислительной техники. Этого настоятельно требовало также решение задач, стоявших перед государством в оборонной сфере. Актуальность проблемы объяснялась развитием полупроводниковой электроники. В то время шла разработка цифровых ЭВМ второго поколения, где уже использовались полупроводниковые приборы, а не электронные лампы. Руководство страны ставит задачу выработки стратегии развития электроники в стране.
Радиоэлектронные комплексы и аппаратура стали потреблять десятки миллионов дискретных электронных компонентов. И это объективно не могло обеспечить резко возросшие требования к надежности, потребляемой мощности, весу и габаритам. Разработка и производство полупроводниковой интегральной элементной базы для радиоэлектронных систем вооружения и народнохозяйственного назначения встали на повестку дня — назрел вопрос о создании промышленности микроэлектроники.
В 1961 году создается Государственный комитет по электронной технике СССР (ГКЭТ), председателем которого назначается А.И. Шокин, талантливый инженер и организатор. А 8 августа 1962 года появляется предельно конкретное Постановление ЦК КПСС и Совета министров СССР о создании Центра микроэлектроники (впоследствии Научного центра) как головной организации в стране по микроэлектронике — функционально полный комплекс НИИ с опытными заводами, имеющий все необходимое и решающий все проблемы создания и применения ИС. Главная задача, поставленная перед Центром, — обеспечение разработок опытного и организация в дальнейшем серийного производства интегральных схем на мировом уровне в интересах обороны страны и народного хозяйства. Здесь должны были разрабатываться технологические процессы, специальные материалы, технологическое и контрольно-измерительное оборудование, непосредственно ИС, а также РЭА на их основе. Все это должно отрабатываться на опытных заводах, а затем передаваться для производства на серийные заводы, освобождая мощности опытных для новой продукции. Постановление о создании Центра микроэлектроники продемонстрировало комплексный подход к решению важнейшей государственной проблемы.
 |
| Лукин Фёдор Викторович лауреат Ленинской премии дважды лауреат Сталинской премии |
Новый институт разместили временно в Москве, на площадях НИИ-35. Его задачей являлись разработка, опытное, а затем и серийное производство полупроводниковых интегральных микросхем. Директором института был назначен И.А. Гуреев. Первые практические шаги нового института полностью определял А.И. Шокин. И.А. Гуреев, будучи по специальности строителем, полностью посвящал себя вопросам возведения в Северной зоне Зеленограда основного корпуса НИИ. В его строительстве рабочим часто помогали без отрыва от основной работы сотрудники института.
В советской «кремниевой долине»
Первые годы. В только что построенном городе Зеленограде, советском центре микроэлектроники, п/я 2021 разместили в помещениях завода «Элион», а затем перевели на завод «Компонент». Там начали создавать гермозону с технологическими линейками подразделений, а затем и цех опытного производства НИИМЭ.
В январе 1965 года директором «почтового ящика» стал К.А. Валиев, незадолго до этого возглавлявший Физический сектор, объединявший несколько лабораторий, предприятия п/я 2015 (Научно-исследовательский институт микроприборов). Собственно, с этого момента и началась организация научной работы. Позднее выяснится, что новый институт создавался именно под этого молодого талантливого ученого и столь же талантливого организатора. Он был даже автором его названия. К.А. Валиеву, единственному доктору наук в своем учреждении, шел в то время только 35-й год.
Все другие руководители института были тоже не старше 35, а начальники разрабатывающих подразделений — не старше 40 лет.
В стране тогда вряд ли нашелся бы другой физик-теоретик, который бы решился, как Валиев, взяться за организацию столь сложного нового технического направления. Сказался, видимо, молодой задор. Во всяком случае, спустя десятилетия о К.А. Валиеве будут говорить как об одном из создателей отечественной микроэлектроники.
К.А. Валиеву предстояло наладить и производство интегральных схем, последовательно расширяя их номенклатуру. Новому директору потребовалось всего две недели, чтобы оценить ситуацию и, обсудив ее с директором НЦ Ф.В. Лукиным, министром электронной промышленности А.И. Шокиным (в марте 1965 года ГКЭТ, как и остальные оборонные госкомитеты, был преобразован в министерство с подчинением ему серийных заводов), предложить программу работы института на ближайшее время.
В качестве первоначальных шагов программа предусматривала следующее: освоение и организацию производства, планарного биполярного транзистора «Плоскость», разработанного в 1963 году в НИИ «Пульсар» (как говорил позднее Камиль Валиев, в нем «саккомулирован отечественный опыт планарной технологии на кремнии, основные процессы которой были пригодны и для интегральных схем»); создание с этой целью цеха по производству транзистора и достижение высокого выхода годных приборов и требуемой надежности; определение структуры института и функционального назначения каждого его подразделения; подбор кадров.
Министр электронной промышленности СССР
А.И. Шокин на предприятии. Конец 1960-х годов
К тому моменту предприятие насчитывало уже 400 сотрудников. Темпы его развития были стремительными. Отдел кадров порой принимал на работу сотни человек в месяц. Многие из них были «просто физиками» из академических институтов или с кафедр высших учебных заведений. Имели место проблемы с организацией работ: в первое время у разработчиков не было необходимой вычислительной техники.
Лишь позднее в институте появилась ЭВМ БЭСМ-4, а затем БЭСМ-6. В НИИМЭ к тому времени уже были созданы две лаборатории. Определившись с целями и задачами, п/я 2021 приступил без промедления к работе. 25 февраля 1965 года в Зеленоград с предприятия п/я 2015 на п/я 2021 был переведен отдел кремниевой технологии, уже работавший по тематике нового направления.
На основе этого коллектива первым был создан отдел 110 во главе с С.А. Гаряиновым. В отделе были лаборатории, возглавляемые В.Г. Ржановым, А.В. Лубашевским, А.В. Лубашевской, В.Я. Контаревым, А.В. Раковым. Одной из первых разработок отдела были диодные матрицы по теме «Микроэлемент-2» для новых отечественных ЭВМ специального назначения.
В коллективе царила атмосфера творчества и энтузиазма.